- [檢測百科]分享:雙脈沖磁控濺射峰值靶電流密度對TiN薄膜結構與力學性能的影響2025年04月10日 16:39
- 自主研發了雙脈沖磁控濺射技術,提出在一個脈沖周期內電流呈階梯式上升的雙脈沖電場設計理念,通過對2個脈沖階段持續時間和峰值靶電流密度的調配,既滿足提高鍍料粒子動能與離化率以制備高性能薄膜的工藝要求,又達到增加脈沖持續時間以提高薄膜沉積速率的效能目標
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- [檢測百科]分享:高速鋼表面TiN薄膜的界面疲勞剝落行為2024年10月31日 15:06
- 來源--金屬學報
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